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GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體硅烷

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GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體硅烷

GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體硅烷

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運輸、貯存和安全要求等。
本標(biāo)準(zhǔn)被 GB/T 15909-2009電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH) 代替

GB/T 15909-2009

電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)

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