本標準規定了測定環境空氣、無組織排放監控點空氣和固定污染源廢氣中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的氣相色譜-質譜法。

本標準適用于環境空氣、無組織排放監控點空氣中三氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的測定；適用于固定污染源廢氣中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的測定。環境空氣和無組織排放監控點空氣進樣量為400 ml（標準狀態）時，目標化合物的方法檢出限為0.03 μg/m3～0.05 μg/m3，測定下限為0.12 μg/m3～0.20 μg/m3；固定污染源廢氣進樣量為1.0 ml（標準狀態）時，目標化合物的方法檢出限均為0.2 mg/m3，測定下限均為0.8 mg/m3。詳見附錄A。