本標準規定了測定環境空氣和廢氣中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的氣相色譜-質譜法。

本標準適用于環境空氣、無組織排放監控點空氣中三氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的測定；適用于固定污染源有組織排放廢氣中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的測定。

環境空氣和無組織排放監控點空氣取樣體積為 400 mL 時，目標化合物的方法檢出限為 0.03 μg/m³~0.04 μg/m³，測定下限為 0.12 μg/m³~0.16 μg/m³；固定污染源有組織排放廢氣取樣體積為 1.0 mL 時，目標化合物的方法檢出限均為 0.2 mg/m³，測定下限均為 0.8 mg/m³。詳見附錄 A。